结果和讨论
图3为各向同性蚀刻的玻璃蚀刻步骤（在蚀刻~-4之前）。这可以根据特定的蚀刻步骤制作高纵横比结构。高纵横比结构是蚀刻的浓度、时间、溶液比等关键因素，但它们也取决于掩模层材料的特性。我们研究了如图4所示的对硬掩模材料的影响，以改善具有周期模式的光捕获结构。光刻胶（PR）是湿式化学蚀刻工艺中最常用的掩蔽材料。当HF浓度增加或蚀刻程度更深时，它是容易被高频酸在玻璃和PR之间渗透。金属被广泛地用作掩蔽层。与光刻胶相比，HF分子在固有的针孔内被吸收，并导致玻璃表面的缺陷增强。铝玻璃的粘附力仍然太弱，无法防止长时间腐蚀的侧向高频穿透。硅基薄膜是另一种众所周知的高频惰性材料，它与玻璃基板具有良好的附着力，更重要的是，硅基材料的表面是疏水的，这高度防止了高频蚀刻过程中表面针孔的形成和凹痕效应。这一特性表明，这种掩蔽材料可能是一个很好的候选深熔融硅蚀刻。
图5。在蚀刻前使用周期性图案硬掩模(a)的玻璃蚀刻步骤，(b)蚀刻1、(c)蚀刻2、(d)蚀刻3和(e)蚀刻4
图6。一种基于各种硬掩模材料的微蚀刻表面的显微镜图像
结论
在含高频溶液的基础上，采用MEMS、生物技术和基于高频玻璃蚀刻的光伏等器件应用，以提高使用寿命。在本文中，我们已经讨论了简要的应用程序，并总结了我们的工作。玻璃蚀刻过程的目的薄膜太阳能电池满意应用时，纹理玻璃表面没有污染物。清洁玻璃表面所需的蚀刻关键点很大程度上取决于蚀刻溶液和捕光结构的浓度。通过将不带蚀刻掩模的玻璃衬底与HF/H2SO4交替进行短时间蚀刻，改变了这种情况。将光滑的表面转化为光学光捕获形态是可能的。
虽然目前还不清楚反应机理，但如果有令人满意的实验结果，我们可以用于一个行业。高频溶液和不溶性产物一起被认为是危险的。因此，降低在工作中使用的蚀刻剂的质量，并开发应用于太阳能电池器件的方法是非常重要的。对于这项工作，它被湿蚀代替湿蚀，以减少不溶产物。然而，由于湿蚀工艺简单、成本效益高、表面结构控制良好，其优点仍优于干蚀工艺。返回搜狐，查看更多
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